椭偏仪的原理以及应用

2020-05-22 11:10:45 admin 188

椭偏仪的原理以及应用

什么是椭偏仪/椭圆偏振仪?

        椭偏仪/椭圆偏振仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。

椭偏仪的基本原理:
        利用偏振光测量薄膜或界面参量,通过测量被测样品反射(或透射)光线偏振状态的变化来获得样品参量。 以我们优尼康科技有限公司提供的一款多波长椭偏仪为例,简单介绍下椭偏仪的功能。


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        这款型号为Film Sense FS-1™的椭偏仪采用寿命长 LED 光源和非移动式部件椭偏探测器,可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和可靠地薄膜测量。大多数厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要简单的1秒测量,就可以获得非常精密和准确的数据。还可以测量大多数样品的光学常数和其他薄膜特性。
        Film Sense FS-1™多波长椭偏仪这款功能强大的多波长椭偏仪,售价只是单一波长椭偏仪和光谱椭偏仪的中等水平。FS-1™可应用于研究实验室,超净间,原位工艺腔体以及工业质量控制等诸多领域。

椭偏仪的应用:

        由于测量精度高,适用于超薄膜,与样品非接触,对样品没有破坏且不需要真空,使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。椭偏仪/椭圆偏振仪现在已被广泛应用于材料、物理、化学、生物、医药等领域的研究、开发和制造过程中。
        可测材料:半导体、介电材料、有机高分子聚合物、金属氧化物、多层膜物质和石墨烯等等。

 


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