震动隔离系统-防振台的使用

2017-11-16 15:04:28 admin 26

1.概况

电镜和其它精密仪器对环境震动要求很高,例如电镜要求X、Y、Z方向的低频震动(0~30Hz)<6微米;30Hz以上的高频震动<12微米.。20Hz以下的低频震动,对电镜的干扰影响最大。如果超过该指标,电镜在高倍率(1万倍以上)照相,就难于得到理想图像。

普通扫描电子显微镜(SEM)当安置到楼房高层(2层以上),或置于有强震动的场地时(例如附近地下有地铁,),高倍率3万倍以上观察、照相就无法进行。而必须使用震动隔离系统-防振台。

场发射电镜(FEM)要在几十万倍观察和照相,对震动要求更高。即便安装在一楼,也都不能满足要求。一般都要求安装防振台。

当然,用于电镜的防振台更适于其它精密仪器。

瑞士Table Stable公司的AVI400型是世界上著名的防震台。它为2个分离单元的隔振垫块,安装非常方便。

EVO-18.jpg

2.原理

防振台有2钟:被动式和主动式的。

被动式的是采用橡胶、金属弹簧、空气弹簧等,20Hz以下的低频震动减震效果很差,在0~20Hz 会增加SEM 的谐振,不被采用。

主动式的是采用3维探测器,检测3维方向(X、Y、Z)传来的外部震动,由PID(     )控制器产生等幅、反相的控制信号,再由执行机构产生等幅、反相的内部震动来抵消或减弱外部的震动干扰。现在,国外技术先进的防振台都是主动式的,常用的有压电陶瓷式、空气式、电磁式、电动机式等。

3.选型

瑞士Table Stable公司的执行机构-隔振垫块,是2个长条式的模块,体积轻巧,体积小,安装方便,价格适中,国内用户较多。相比德国B公司、美国T公司的执行机构-隔振垫块都是方形平台式的,体积大,安装不便,价格贵,且需要SEM的厂家现场协助。

4.实用效果

客户的EVO MA 25 SEM安装在3楼,1万倍以上照相无法进行。2012年12至今,使用瑞士的AVI-400型防震台,保证了电镜的正常使用,10~20万倍照相,也可以得到满意图像。请见如下照片:

图片关键词

防震前

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防震后


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