光刻胶在曝光、显影后会形成"有图形的台阶"（也叫显影后残胶厚度）。这个台阶高度直接反映三件事：
曝光剂量：剂量偏高会让胶面过曝、显影后残胶厚度偏低；剂量偏低则残胶偏厚、图形不净。
显影液浓度与时间：显影不充分会留底膜，显影过度会咬掉下层。
前烘/后烘温度：烘烤不充分会让残胶致密度不够、显影后底部膜面粗糙。
因此在光刻工艺优化里，显影后台阶高度是仅次于 CD 的第二关键指标。要把这个台阶测准，需要一台能在 1 μm 横向分辨率下精确测量 1 nm 到 10 μm 垂直方向变化的设备。触针式台阶仪（Stylus Profiler）就是为这种场景设计的。
显影后台阶量测主要难在三处：
样品易损伤：光刻胶本身是软物质，触针压力稍大就会划伤残胶或推开图形边沿，导致台阶高度偏低。P-7 触针压力可调到 1 mg 量级，能测软胶。
底膜残留：显影不充分会留下 10-50 nm 厚的底膜，台阶底面不平整，台阶仪会把这层底膜计入台阶高度。需要在显影工艺稳定的前提下测量。
图形边沿形状：侧壁角不垂直、底部圆角、顶部倒角都会让台阶仪扫出来的曲线不是理想矩形。台阶仪软件需要能拟合这种非理想形状并给出"修正后"高度。
对这些问题，KLA P-7 用低压力触针 + 软件拟合修正是当前主流方案。
KLA P-7 是 KLA 旗下的桌面式触针台阶仪，专为薄膜台阶、刻蚀深度、显影后残胶厚度等场景设计。
| 项目 | KLA P-7 台阶仪 |
|---|---|
| 扫描长度 | 最长可达 100 mm 以上 |
| 垂直分辨率 | Å 级（0.1 nm） |
| 触针压力 | 可调到 1 mg 量级，适合软胶测量 |
| 样品台 | 200mm 晶圆 + 碎片样品均可 |
| 软件 | 含台阶高度自动拟合、侧壁角计算、底面水平修正 |
P-7 的核心优势是扫描长度长 + 软件拟合智能。光刻胶显影后台阶的横向尺寸可以从 1 μm 到数 mm 不等，P-7 都能扫，软件可以自动识别台阶的"上平台-侧壁-下平台"，并按侧壁斜率修正台阶高度。
本次对一片光刻胶显影后样品做台阶测量，结果如下：
| 参数 | 实测值 |
|---|---|
| 设备 | KLA P-7 触针式台阶仪 |
| Recipe | 20260430SJL |
| 扫描长度 | 1084.00 μm |
| 扫描速度 | 20.00 μm/s |
| 采样率 | 100 Hz |
| Force（触针力） | 0.05 mg |
| Noise Filter | 1.7 μm |
| 方向 | →（Direction →） |
| Level 1 高度（左侧平台） | 138.2 Å |
| Level 2 高度（右侧平台） | 777.8 Å |
| Delta（两侧高差） | 664.0 Å |
| Feature Detected | 0 |
| Ref 高度 | 3997.3 Å |
| X Height | 3999.7 Å |
| Step Height（最终台阶高度） | -3997.0 Å |
| Tilt | 538.1 μm |
从扫描曲线看；最终拟合给出的Step Height = -3997.0 Å（即 -399.7 nm）是显影后残胶的总台阶高度，负号表示从胶面向下到衬底方向。
这份数据可以直接用于光刻工艺的曝光剂量-显影时间正交实验（DoE），作为响应变量。
如果你的工作涉及光刻胶显影后残胶厚度监控、薄膜台阶、刻蚀深度等场景，KLA P-7 是当前主流的触针式台阶仪。优尼康科技是 KLA 在中国区的授权代理，可提供 P-7 销售、Recipe 调试与扫描参数优化服务。
对于非接触量测需求（如样品极软或图形边沿易被划伤），可以考虑 KLA Zeta-20 3D 光学轮廓仪或 Alpha-Step 5000 系列。详见文末 Module J。
答：触针台阶仪（P-7）分辨率高、量程大、扫描长度长，是显影后台阶的经典方案；3D 光学轮廓仪（Zeta-20）是非接触方案，适合触针会划伤的特殊样品（如水凝胶、未固化的厚胶）。常规 PR 用 P-7 即可。
答：P-7 触针压力可调到 0.05-1 mg 量级，远低于光刻胶的划伤阈值（典型 5-20 mg）。对常规 PR（厚度 0.5-2 μm）不会划伤；对超软胶（如水凝胶、未固化厚胶）建议先试扫或改用 Zeta-20 光学方案。
答：负号表示"从扫描起点向扫描终点方向高度下降"，绝对值 3997 Å（=399.7 nm）是台阶高度本身。光刻胶显影后台阶常用负值表示"胶面高于衬底方向"，具体符号约定以软件设置为准。
答：P-7 扫描长度可达 100 mm 以上，200mm 晶圆可以直接放在样品台上。碎片样品（>5mm 边长）也能扫。
答：P-7 是 IQ 的新一代升级版，触针压力更低、扫描速度更快、软件拟合更智能。对存量 IQ 用户，P-7 数据兼容、可直接平替。
关于优尼康科技
优尼康科技成立于 2012 年，是 KLA 旗下台阶仪系列在中国区的授权代理。我们提供 P-7 销售、Recipe 调试与扫描参数优化服务。
KLA 触针式台阶仪 → P-7 / Alpha-Step 系列台阶仪，薄膜与显影后残胶量测。
KLA Zeta-20 3D 光学轮廓仪 → 非接触 3D 轮廓仪，适合软胶、易划伤样品。
Filmetrics F20 反射式膜厚仪 → 光刻胶原始涂胶厚度快速测量，与台阶仪配合。
光刻胶专题页 → 光刻胶行业整体量测方案汇总与更多应用案例。
磷化铟（InP）专题页 → 磷化铟材料在外延、CMP、光刻等应用场景的量测方案。
优尼康公众号
售后服务支持
