Bowman B系列是一款 XRF 微区镀层测厚仪,由优尼康科技代理供应。仪器采用微聚焦 X 射线管配合多孔毛细管光学聚焦,光斑可小至 100μm,用于微区镀层厚度与元素成分分析。可同时分析 5 层镀层(含基材)、25 种元素,元素范围覆盖 13Al-92U,适用于半导体、连接器与电子元器件的微区镀层测厚。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 元素测量范围 | 13Al-92U |
| X射线管 | 50W(50kV,1mA)微聚焦钨靶 |
| 探测器 | SDD / Si-PIN(≥190eV) |
| 光斑尺寸 | <100μm(毛细管聚焦) |
| 分析能力 | 5 层镀层(含基材) |
| 同时分析元素 | 25 种 |
| 软件 | Xralizer |
| 样品台 | 固定样品台,视频对准 |
Bowman B 基于微聚焦 X 射线荧光法,X 射线激发样品镀层元素特征荧光,通过探测器分析荧光谱线强度反演镀层厚度与成分。多孔毛细管光学聚焦实现小于 100μm 微光斑,适合微小区域镀层测量。
半导体:引脚、凸点、焊盘微区镀层测厚
电子元器件:连接器、引线框架镀层厚度与成分分析
五金装饰:微小工件镀层测厚
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