KLA D500 探针式表面轮廓仪产品手册

简要说明：: KLA D500 探针式表面轮廓仪手册，光学杠杆传感器测台阶与表面形貌，台阶纳米级~1200μm、垂直分辨率0.38Å，面向台阶与粗糙度接触式测量。

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产品简介

KLA D500 是一款探针式表面轮廓仪（台阶仪），由优尼康科技代理供应。仪器采用光学杠杆传感器，探针力 0.03–15mg 微力可调，垂直分辨率 0.38Å，台阶高度测量范围纳米级至 1200μm，支持 2D 形貌与应力表征。500 万像素彩色相机辅助定位，符合 CE 标准。

D500 基于探针接触式测量，金刚石探针在样品表面扫描，光学杠杆传感器将探针的微小位移放大并转换为高度信号，实现台阶高度与表面形貌的精确测量。梯形失真与弧形校正保证扫描精度，软件支持 2D 形貌、粗糙度与应力分析。

需要样品测试或量测方案咨询？在线提交需求，或拨打 400-186-8882（上海 021-58381720），优尼康科技提供本地化技术支持与免费测样。

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