- 返回 |
- 网站首页
- / 下载中心
- / 产品手册
- / 表面形貌与粗糙度测量
- / KLA D600 探针式表面轮廓仪 产品手册
KLA D600 是一款探针式表面轮廓仪（台阶仪），由优尼康科技代理供应。仪器采用光学杠杆传感器，垂直分辨率 0.38Å，台阶高度测量范围纳米级至 1200μm，支持 2D 与 3D 扫描。自动 XY 样品台行程 150mm×178mm，3D 扫描区域可达 55mm×120mm，500 万像素相机辅助定位，符合 CE 标准。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 台阶高度范围 | 纳米级~1200μm |
| 垂直分辨率 | 0.38Å |
| 台阶高度重复性 | 5Å 或 0.1% |
| 探针力范围 | 0.03–15mg |
| 2D 扫描长度 | 30mm（分辨率 0.1μm） |
| 3D 扫描区域 | 55mm×120mm（分辨率 1μm） |
| XY 样品台（自动） | 150mm×178mm |
| Theta 旋转台 | 360° |
| 扫描速度 | 10–400μm/s |
| 采样率 | 60–2000Hz |
| 传感器 | 光学杠杆传感器 |
D600 基于探针接触式测量，金刚石探针在样品表面扫描，光学杠杆传感器将探针位移放大并转换为高度信号，实现台阶高度与表面形貌测量。支持 2D 线扫描与 3D 区域扫描，软件支持台阶高度、粗糙度与应力分析。
半导体：薄膜台阶高度、光刻胶图形测量
MEMS：微结构台阶与表面形貌
材料研发：薄膜应力、粗糙度表征
大面积样品：3D 表面形貌扫描
需要样品测试或量测方案咨询？在线提交需求，或拨打 400-186-8882（上海 021-58381720），优尼康科技提供本地化技术支持与免费测样。
优尼康公众号
售后服务支持
