Filmetrics F10-RT 薄膜厚度测量仪 产品手册

简要说明 :
Filmetrics F10-RT 薄膜厚度测量仪手册,反射与透射同步测厚,1nm~150μm、精度0.01nm,面向真空镀膜与光学薄膜质控。
文件版本 :
V1.0.1
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产品简介

Filmetrics F10-RT 是一款面向真空镀膜的反射/透射同步测量膜厚仪,由优尼康科技代理供应。仪器可同步测量样品的反射率与透射率,覆盖 190~1700nm 宽谱段,用于真空镀膜、光学薄膜的厚度、FWHM 与颜色分析。1nm~150μm 宽量程配合 0.01nm 精度,适合薄膜与厚膜的全范围测厚。

核心参数

参数规格
产品型号F10-RT
波长范围190nm~1700nm
光源钨卤素灯 / 氘灯
厚度测量范围1nm~150μm
测量精度0.01nm
光斑大小6mm(标准)
稳定性0.05nm
测量功能反射率、透射率、FWHM、颜色分析、厚度、折射率

测量原理与软件

F10-RT 基于光谱反射与透射同步测量,同时获取样品反射与透射光谱,用于镀膜厚度、FWHM 与颜色分析。软件支持数据导出与报告打印,适合真空镀膜线的快速检测。

典型应用

  • 真空镀膜:光学薄膜反射/透射特性同步测量

  • 光学元件:增透膜、高反膜、滤光片测厚

  • 显示与光电:ITO 导电层、功能膜层测厚

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标签: Filmetrics F10-RT
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