Filmetrics F20 是一款高性价比的便携式光学膜厚仪,由优尼康科技代理供应。仪器采用光谱反射法,通过测量薄膜反射光谱反演膜厚与光学常数,非接触、不伤样品,单次测量不到 1 秒。桌上型紧凑设计,内置 500 多种材料数据库,覆盖紫外到近红外波段,适用于半导体、光学镀膜、平面显示与材料研发等场景的快速薄膜厚度测量。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 波长范围 | 380-1050nm(型号可选) |
| 光源 | 钨卤素灯、氘灯 |
| 厚度测量范围 | 15nm~70μm(视配置) |
| 测量精度 | 0.02nm |
| 准确度 | 1nm 或 0.2% 取大值 |
| 光斑大小 | 1.5mm(可选小至 20μm) |
| 样品台尺寸 | 1mm~300mm |
| 内置材料库 | 500+ 种 |
F20 基于光谱反射法,将宽谱光垂直照射到薄膜样品表面,分析不同波长反射光的干涉光谱,经模型拟合反演膜厚与折射率。非接触测量不伤样品,配合 F20-UV / EXR / NIR / XT / UVX 等型号可覆盖 1nm 到 450μm 的厚度范围。软件内置 500 多种材料库,支持一键测量与数据导出。
半导体:氧化硅 / 氮化硅工艺膜层厚度测量
光学镀膜:增透膜、分光膜厚度测量
平面显示:OLED 功能层、ITO 导电层厚度测量
材料研发:聚合物、光刻胶薄膜厚度验证
需要样品测试或量测方案咨询?在线提交需求,或拨打 400-186-8882(上海 021-58381720),优尼康科技提供本地化技术支持与免费测样。