Filmetrics F20 便携式光学膜厚仪 产品手册

简要说明 :
Filmetrics F20 便携光学膜厚仪手册,光谱反射法非接触测薄膜厚度,15nm~70μm、精度0.02nm,面向半导体与光学镀膜研发质控。
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V1.0.1
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产品简介

Filmetrics F20 是一款高性价比的便携式光学膜厚仪,由优尼康科技代理供应。仪器采用光谱反射法,通过测量薄膜反射光谱反演膜厚与光学常数,非接触、不伤样品,单次测量不到 1 秒。桌上型紧凑设计,内置 500 多种材料数据库,覆盖紫外到近红外波段,适用于半导体、光学镀膜、平面显示与材料研发等场景的快速薄膜厚度测量。

核心参数

参数规格
波长范围380-1050nm(型号可选)
光源钨卤素灯、氘灯
厚度测量范围15nm~70μm(视配置)
测量精度0.02nm
准确度1nm 或 0.2% 取大值
光斑大小1.5mm(可选小至 20μm)
样品台尺寸1mm~300mm
内置材料库500+ 种

测量原理与软件

F20 基于光谱反射法,将宽谱光垂直照射到薄膜样品表面,分析不同波长反射光的干涉光谱,经模型拟合反演膜厚与折射率。非接触测量不伤样品,配合 F20-UV / EXR / NIR / XT / UVX 等型号可覆盖 1nm 到 450μm 的厚度范围。软件内置 500 多种材料库,支持一键测量与数据导出。

典型应用

  • 半导体:氧化硅 / 氮化硅工艺膜层厚度测量

  • 光学镀膜:增透膜、分光膜厚度测量

  • 平面显示:OLED 功能层、ITO 导电层厚度测量

  • 材料研发:聚合物、光刻胶薄膜厚度验证

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标签: Filmetrics F20
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