F32 在线式膜厚测量

简要说明 :
F32 在线式膜厚测量系统产线集成方案,实时反馈与超差报警,显著提升良品率并节省材料成本。
文件版本 :
V1.0.1
文件类型 :
PPTX
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应用简介

真空镀膜产线需要对镀层厚度做在线实时监控。本文介绍 Filmetrics F32 在线式膜厚测量系统的产线集成方案:探头通过观测窗或在传输路径架设,实现生产过程实时反馈、超差报警,据客户测算一年可节省 15%–50% 材料与人工支出,良品率由 56% 提升至 86–95%。

测量要点

  • 非接触、无损在线测量,实时反馈与预警

  • 支持真空腔观测窗原位测量与传输带 XY 模组定位测量两种方案

  • 基于光干涉原理,光纤探头远距离(10–20m)传输

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标签: Filmetrics F32
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