Filmetrics F32 是一款在线式膜厚测量系统，由优尼康科技代理供应。仪器采用 3U 半宽机架式模块，支持 1~4 通道并行测量，可集成到产线做薄膜厚度在线监控，测量数据自动导出至 SPC 系统。适用于半导体、镀膜线的连续制程厚度监控。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 产品型号 | F32 |
| 产品形态 | 3U 半宽机架式模块 |
| 测量技术 | 光谱反射法 |
| 测量通道数 | 1-4 个 |
| 波长范围 | 380-1050nm（EXR/UVX 至 1700nm） |
| 厚度测量范围 | 15nm~70μm（EXR/UVX 可达 250μm） |
| 测量精度 | 0.02nm |
| 控制接口 | 数字 I/O、主机软件控制 |
| 数据输出 | 自动导出至 SPC 系统 |
F32 基于光谱反射法，多通道并行测量不同工位的薄膜厚度，数字 I/O 与主机软件联动，测量数据自动导出至 SPC 系统做制程能力分析。FILMeasure 软件支持单层及多层膜分析、远程控制与数据导出。
半导体：多工位薄膜厚度在线监控
镀膜产线：连续制程厚度在线检测
SPC 制程能力分析与报警
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