Filmetrics F40 是一款显微镜微区膜厚测量仪，由优尼康科技代理供应。仪器采用光谱反射法，通过标准 C-mount 接口接入显微镜，光斑可小至 1μm，适合图案化、弯曲与非均匀样品的微区薄膜测厚。4nm~350μm 宽量程覆盖超薄膜到厚膜。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 测量技术 | 光谱反射法 |
| 显微镜接口 | 标准 C-mount |
| 波长范围 | 190nm~1700nm（视配置） |
| 厚度测量范围 | 4nm~350μm（视配置） |
| 光斑大小 | 1μm~100μm（取决于物镜） |
| 测量精度 | 0.02nm |
| 稳定性 | 0.05nm |
| 测量功能 | 膜厚、折射率n、消光系数k、反射率、透射率 |
F40 基于光谱反射法，将光谱仪通过 C-mount 接口接入显微镜，利用 1μm 微光斑定位样品微区测量薄膜厚度与光学常数。软件 FILMeasure 内置 130 多种材料库，支持单层及多层膜分析。
微区薄膜测厚：图案化、弯曲样品的局部膜厚
半导体：小尺寸结构膜厚测量
材料研发：聚合物、光刻胶薄膜厚度表征
需要样品测试或量测方案咨询？在线提交需求，或拨打 400-186-8882（上海 021-58381720），优尼康科技提供本地化技术支持与免费测样。
优尼康公众号
售后服务支持
