Filmetrics F50 是一款晶圆级全自动 Mapping 光学膜厚仪，由优尼康科技代理供应。仪器采用光谱反射法，配合 r-θ 极坐标电动载物台自动取点，可一键完成整片晶圆的膜厚分布扫描，输出 2D/3D 膜厚分布图，用于薄膜均匀性与工艺波动监控。支持最大 450mm 样品，覆盖半导体、化合物半导体与显示面板的膜厚测量。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 波长范围 | 190nm-1340nm（型号可选） |
| 光源 | 钨卤素灯、氘灯 |
| 厚度测量范围 | 5nm~2mm |
| 测量精度 | 0.02nm |
| 准确度 | 1nm 或 0.2% 取大值 |
| 光斑大小 | 标准 1.5mm |
| 样品台尺寸 | 1mm~450mm |
| 扫描速度 | 约 2点/秒 |
| 材料数据库 | 500+ 种内置模型 |
| 样品类型 | 固态、液态、气态薄膜 |
F50 基于光谱反射法，将宽谱光照射到薄膜表面，分析反射干涉光谱反演膜厚与光学常数。r-θ 极坐标载物台自动逐点扫描，生成整片膜厚分布图，支持同心圆、矩形、线性等测绘模式。软件内置 500 多种材料库，可同时测量厚度、n 值、k 值、反射率与透过率。
半导体：晶圆氧化层/氮化硅厚度与均匀性 Mapping
化合物半导体：GaAs、SiC 薄膜厚度分布检测
平板显示：ITO/TCO 导电层与 OLED 有机层厚度测绘
光学镀膜：增透膜、高反膜多层膜厚控制
需要样品测试或量测方案咨询？在线提交需求，或拨打 400-186-8882（上海 021-58381720），优尼康科技提供本地化技术支持与免费测样。
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