Filmetrics F54 是一款高分辨率全自动薄膜测量系统，由优尼康科技代理供应。仪器采用光谱反射法，配合 R-Theta 极坐标或 XY 自动载物台，可一键完成大尺寸样品的膜厚 Mapping，输出 2D/3D 分布图。最小光斑 2μm，支持最大 450mm 直径样品。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | F54（五种配置可选） |
| 测量技术 | 光谱反射法 |
| 测量方式 | 非接触式 / 自动Mapping |
| 波长范围 | 190nm~1700nm |
| 厚度范围 | 4nm~120μm（依配置） |
| 最小光斑 | 2μm（高倍物镜） |
| 测量精度 | 0.02nm |
| 最大样品尺寸 | 450mm 直径 |
| 测绘速度 | 最快 2点/秒 |
| 测绘模式 | 同心圆、矩形、线性、自定义点阵 |
F54 基于光谱反射法，R-Theta 或 XY 自动载物台逐点扫描，生成 2D/3D 膜厚分布图。软件 FILMeasure 内置 500 多种材料库，支持多层建模与数据导出。
半导体：大尺寸晶圆膜厚均匀性 Mapping
平板显示：ITO/TCO、OLED 层厚度测绘
光学镀膜：多层膜厚控制
MEMS：微结构薄膜厚度表征
需要样品测试或量测方案咨询？在线提交需求，或拨打 400-186-8882（上海 021-58381720），优尼康科技提供本地化技术支持与免费测样。
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