Filmetrics F54-XY-200 是一款全自动 XY 平台薄膜厚度测绘仪，由优尼康科技代理供应。仪器采用光谱反射法，配合电动 XY 工作台（行程 200×200mm），自动完成 200mm 晶圆的膜厚 Mapping，输出 2D/3D 分布图。支持 UV/UVX/NIR/EXR 多种配置覆盖不同膜厚与波段。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 产品型号 | F54-XY-200 |
| 测量技术 | 光谱反射法（非接触） |
| 样品台类型 | 电动 XY 工作台 |
| 样品台行程 | 200mm×200mm |
| 厚度测量范围 | 4nm~120μm（依配置） |
| 测量精度 | 0.02nm |
| 光斑尺寸 | 2μm~100μm（依配置） |
| 波长范围 | 190nm~1700nm（依配置） |
| 测绘速度 | 最快 2点/秒 |
F54-XY-200 基于光谱反射法，电动 XY 工作台自动逐点扫描，生成整片膜厚分布图。软件支持自动测绘模式与 2D/3D 分布图，内置多层建模。
半导体：晶圆氧化层/氮化硅厚度测绘、光刻胶均匀性分析
化合物半导体：GaAs、SiC 薄膜厚度检测
平板显示：ITO/TCO、OLED 层厚度测绘
光学镀膜：多层膜厚控制
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