Filmetrics F54-XYT-300 是一款 300mm 晶圆全自动膜厚测绘仪，由优尼康科技代理供应。仪器搭载电动 XY 工作台与高性能 R-Theta 旋转台，专为 300mm/12 英寸大尺寸晶圆定制，支持极坐标与矩形多模式全域 Mapping，内置图案识别自动对位，无需手动换位即可完成全表面膜厚扫描。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 产品型号 | F54-XYT-300 |
| 测量技术 | 光谱反射法（非接触） |
| 样品台类型 | 电动XY工作台 + R-Theta旋转台 |
| 最大样品尺寸 | 直径 300mm |
| 厚度测量范围 | 4nm~120μm（依配置） |
| 测量重复性 | 0.02nm |
| 光斑尺寸 | 2μm~100μm（依配置） |
| 波长范围 | 190nm~1700nm（依配置） |
| 测绘速度 | 最快 2点/秒 |
F54-XYT-300 基于光谱反射法，XY 工作台配合 R-Theta 旋转台实现极坐标与矩形多模式 Mapping，图案识别自动对位无标记定位。软件 FILMapper 支持 2D/3D 分布图、SPC 与多层建模。
半导体：300mm 晶圆氧化层/氮化硅厚度测绘、光刻胶均匀性分析
化合物半导体：GaAs、SiC 薄膜厚度检测
LCD/OLED：ITO/TCO、OLED 层厚度测绘
光伏：抗反射层厚度优化、TCO 电极层均匀性测绘
需要样品测试或量测方案咨询？在线提交需求，或拨打 400-186-8882（上海 021-58381720），优尼康科技提供本地化技术支持与免费测样。
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