Filmetrics F54-XYT-300 全自动膜厚仪产品手册

简要说明：: Filmetrics F54-XYT-300 全自动膜厚仪是面向半导体与光电行业的膜厚检测系统。该产品搭载独有R-Theta旋转复合载台、内置图案识别自动对位、支持极坐标与矩形多模式全域Mapping，4nm~120μm宽测厚范围，测量精度1nm、重复性0.02nm，适用于半导体晶圆、显示面板及光伏薄膜的均匀性检测。

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【核心特点】
F54-XYT-300 搭载独有 R-Theta 旋转复合载台，专为 300mm/12 英寸大尺寸晶圆定制，支持极坐标与矩形多模式全域 Mapping，无需手动换位即可完成全表面膜厚扫描。内置图案识别自动对位功能，实现无标记自动定位，大幅提升批量检测效率。4nm~120μm 宽测厚范围配合 2μm 微光斑，测量精度达 1nm、重复性 0.02nm，满足半导体、化合物半导体、显示面板及光伏薄膜的均匀性检测需求。

【手册内容】
本手册涵盖产品技术规格、系统架构说明、操作指南、Mapping 测量模式详解及行业应用案例等完整信息，帮助您全面了解 F54-XYT-300 的性能与应用方案。

【资料下载与咨询】
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