Filmetrics F60-t 是一款产线专用全自动光反射膜厚仪，由优尼康科技代理供应。仪器采用光谱反射法，全封闭式测量舱带运动联锁，支持凹槽自动定位与自动基线校准，预装工业计算机开机即用。可选 SECS/GEM 协议与全自动晶圆传输，适合晶圆厂量产线的膜厚在线检测。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 测量技术 | 光谱反射法 |
| 载物台类型 | 电动 R-Theta 载物台 |
| 波长范围 | 190nm~1700nm（视配置） |
| 厚度测量范围 | 5nm~3mm（视配置） |
| 测量精度 | 0.02nm |
| 光斑大小 | 标准 1.5mm（最小 150μm） |
| 测量载物台 | 全封闭式，带运动联锁安全防护 |
| 工厂自动化 | 支持 SECS/GEM 协议（可选） |
| 自动化功能 | 凹槽自动定位、自动基线校准 |
F60-t 基于光谱反射法，R-Theta 载物台自动取点，凹槽自动定位晶圆方向，内置反射率标准自动基线校正。全封闭测量舱保障量产环境安全，软件 FILMeasure 支持单层及多层膜分析。
半导体晶圆厂：量产线膜厚在线检测
大批量产线：膜厚在线监控与工艺波动预警
化合物半导体：产线膜厚测量
需要样品测试或量测方案咨询？在线提交需求，或拨打 400-186-8882（上海 021-58381720），优尼康科技提供本地化技术支持与免费测样。
优尼康公众号
售后服务支持
