Film Sense FS-8 是一款第四代多波长椭偏仪，由优尼康科技代理供应。仪器采用 8 波长 LED 光源（370-950nm），无移动部件椭圆偏振探测器，膜厚精密度优于 0.0004nm，透明膜测量范围 0-5μm。长寿命 LED 光源（>50,000h）适合连续在线监测。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 波长数/光谱范围 | 8个 / 370-950nm |
| 光源 | 长寿命 LED（>50,000h） |
| 膜厚精密度 | 优于 0.0004nm |
| 透明膜测量范围 | 0-5μm |
| 入射角 | 65°（固定） |
| 光束尺寸 | 4×9mm（可选 0.8×1.9mm） |
| 样品尺寸 | 最大 200mm 直径 |
| 探测器 | 无移动部件椭圆偏振探测器 |
FS-8 基于多波长椭偏法，通过测量偏振光经薄膜反射后的偏振态变化（Ψ、Δ）反演膜厚与光学常数。8 波长 LED 光源无移动部件，适合在线连续监测与快速测量。
透明薄膜与多层膜厚度测量
镀膜厚度与光学常数在线监测
光学镀膜与显示膜层表征
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