玻璃硬盘基板（外径 97mm、中间通孔）需做边缘形貌与粗糙度品控。本文介绍 KLA Zeta-20 与 P-17 的组合量测方案：P-17 台阶仪沿边缘扫描 5mm 直线测 Roll-off 值（判定标准 47830μm），并测边缘倒角平边粗糙度 Ra 与倒角斜边角 θ；Zeta-20 白光共聚焦完成三维形貌与真彩色成像。
Roll-off（ROR）测量：边缘 50nm 形变拐点定位
边缘倒角平边粗糙度 Ra 与斜边角 θ 测量
Zeta-20 三维形貌 + 真彩色成像
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