HERZ AVI-200 是一款模块化主动式隔振台，由优尼康科技供应。系统采用高灵敏压电传感器配合快速低功耗力驱动器，在六个自由度上主动抑制振动，无需压缩空气支撑，也不存在气压系统的低频共振。主动隔振带宽为 1-200Hz，10Hz 以上传递率小于 0.017，单模块负载能力 200kg。模块结构紧凑、整体高度仅 112.5mm，适合加装到既有精密测量设备下方。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 隔振技术 | 高灵敏压电传感器配合快速、低功耗力驱动器 |
| 隔振方向 | 六自由度主动隔振 |
| 主动隔振带宽 | 1-200 Hz（200 Hz 以上为被动隔振） |
| 传递率 | 10 Hz 以上小于 0.017；100 Hz 以上随负载快速下降 |
| 隔振量 | 大于 40 dB |
| 单模块负载能力 | 0-200 kg |
| 修正力 | 水平方向 4 N，垂直方向 8 N |
| 静态顺应力 | 垂直方向约 3.5 µm/N，水平方向约 7 µm/N |
| 系统噪声 | 0.1-200 Hz 任意方向小于 50 nG/√Hz |
| 模块重量 | S 8.0 kg；M 10.3 kg；XL 12.0 kg |
| 控制器功率 | 9 W |
| 结构设计 | 模块化，无需压缩空气，整体高度 112.5 mm |
主动隔振通过传感器实时检测振动并驱动力驱动器输出反向作用力抵消振动，在低频段仍能保持隔振效果，弥补被动隔振在 1-10Hz 区间的不足。系统按设备重心分布配置模块数量与位置，多个模块组合可提升整体负载能力；通过配置不同长度的模块，可适配不同尺寸的设备底座。安装需平整坚固的支撑面，建议安装前做台面测试。
原子力显微镜与扫描探针显微镜
光学轮廓仪与白光干涉仪
小型精密光学测量与干涉测量装置
摩擦学与表面力学测试仪器
既有精密仪器的小负载加装改造
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