HERZ AVI-400 是一款模块化主动式隔振台，由优尼康科技供应，在 AVI 系列中兼顾负载能力与结构紧凑度。系统采用高灵敏压电传感器配合快速低功耗力驱动器，在六个自由度上主动抑制振动，主动隔振带宽 1-200Hz，10Hz 以上传递率小于 0.017，单模块负载能力 400kg。相比 AVI-200，静态顺应力更低、承载能力更高，适合扫描电镜等中等负载的精密设备；选配 LFS-3 低频探测系统后，隔振起始频率可下探至 0.5Hz。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 隔振技术 | 高灵敏压电传感器配合快速、低功耗力驱动器 |
| 隔振方向 | 六自由度主动隔振 |
| 主动隔振带宽 | 1-200 Hz（200 Hz 以上为被动隔振） |
| 低频扩展 | 选配 LFS-3 低频探测系统后可自 0.5 Hz 起隔振 |
| 传递率 | 10 Hz 以上小于 0.017；100 Hz 以上随负载快速下降 |
| 隔振量 | 大于 40 dB |
| 单模块负载能力 | 0-400 kg |
| 修正力 | 水平方向 8 N，垂直方向 16 N |
| 静态顺应力 | 垂直方向约 1.7 µm/N，水平方向约 3.4 µm/N |
| 系统噪声 | 0.1-200 Hz 任意方向小于 50 nG/√Hz |
| 模块重量 | S 15.0 kg；M 19.3 kg；L 23.2 kg |
| 控制器功率 | 15 W |
| 结构设计 | 模块化，无需压缩空气，整体高度 112.5 mm |
主动隔振系统通过传感器实时检测振动并由力驱动器输出反向作用力抵消振动，在 1-10Hz 的低频区间仍能保持隔振效果。AVI-400 的静态顺应力为垂直约 1.7 µm/N，负载变化引起的台面位移较小，有利于保持设备光路的稳定。系统按设备重心分布配置模块数量与位置，安装需平整坚固的支撑面，建议安装前做台面测试。
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