HERZ TS-150 是一款桌上型主动式隔振台，由优尼康科技供应。HERZ 是瑞士 Table Stable Ltd. 主动隔振系统的销售方，TS 系列即在此基础上面向实验室场景的桌上型产品。TS-150 通过针对低频振动的补偿实现全频段隔振，并自适应调节地基振动前馈，抵消多方向的振动传递；主动隔振频率约 0.7-100Hz，100Hz 以上转为被动隔振，系统不存在低频共振。使用方式为两步：打开电源开关，系统自动完成高度调节，随后开启隔振功能，全过程自动进行。外形尺寸 400 × 450 × 78mm，系统重量约 18kg，便于在既有实验台上加装。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 仪器类型 | 桌上型主动式隔振台（一体化结构） |
| 主动隔振频率 | 约 0.7-100 Hz；100 Hz 以上为被动隔振 |
| 隔振方向 | 六个自由度的三轴主动隔振 |
| 透射率 | 10 Hz 以上小于 0.01（-40 dB） |
| 负载范围 | 0-150 kg（建议实际负载不超过额定负载的 80%） |
| 校正力 | 垂直 ±8 N；水平 ±4 N |
| 静态顺应性 | 垂直约 12 µm/N；水平约 30-40 µm/N |
| 安装面板尺寸 | 400 × 450 mm |
| 外形尺寸 | 400 × 450 × 78 mm |
| 系统重量 | 约 18 kg |
| 高度调节与锁定 | 开机自动完成高度调节；搬运或运输时自动锁定 |
| 隔振状态观察 | 前面板显示屏可观察振动；背部 BNC 接口可接示波器观察 8 轴振动状态 |
| 安全等级 | 1 级 |
| 功耗 | 10 W（负载调节期间 20 W） |
| 输入电压 | 115-230 VAC ±10%，50-60 Hz |
| 台面材质 | 阻尼铝夹层结构；可选 M6 螺纹孔（25 mm 间距）或定制规格 |
| 适用环境 | 5-40 ℃；湿度 10-90%（5-30 ℃）、10-60%（30-40 ℃）；海拔 2000 m 以内，室内使用 |
TS-150 通过传感器实时监测外部振动信号，并将数据传输至控制器。控制器根据振动波形生成反向作用力，由执行器施加与振动相位相反的力，动态抵消低频振动与环境干扰。系统结合被动隔振与主动控制：被动部分吸收高频振动能量，主动部分针对低频振动做补偿，从而覆盖 0.7-100Hz 的主动隔振区间，100Hz 以上由被动隔振承担。系统采用六自由度控制，自适应调节振动前馈，抵消多方向的振动传递。主动隔振系统的传递率会随支撑面的振动状态变化，官方传递率曲线可作为仪器与 TS-150 配套时的性能参考。
扫描电子显微镜（Mini SEM）与桌面型显微镜
原子力显微镜（AFM）等扫描探针设备
三轴轮廓仪与白光干涉仪
液体表面张力测量仪与显微硬度测量仪
医疗检测设备，以及既有桌面仪器的隔振加装改造
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