HORIBA Smart SE 是一款紧凑型、高性价比的光谱椭偏仪，由优尼康科技代理供应。仪器将光源、光谱检测与偏振控制集成于一体机身，出厂前完成光路校准，开机即可稳定工作；集成视觉定位系统可准确对准微区，并能在数秒内完成完整 16 元素穆勒矩阵测量，适合复杂样品分析。软件提供常规预设配方与高级建模两级分析，兼顾研发与工业量产场景。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 光谱范围 | 450–1000 nm |
| 光谱分辨率 | 优于 3 nm |
| 光源 | 卤素灯 + 蓝光 LED 组合 |
| 入射角 | 45°–90°（步进 5°，手动对准；可选自动 45°–90° 步进 0.01°） |
| 微光斑尺寸 | 75×150 / 100×250 / 100×500 / 150×150 / 250×250 / 250×500 / 500×500 µm |
| 样品尺寸 | 最大 200 mm |
| 测量时间 | < 1 s – 10 s |
| 膜厚准确度（1000 Å 氧化硅） | 0.04% |
| 膜厚重复性（1000 Å 氧化硅） | ± 0.02% |
| 角度准确度 | Ψ = 45° ± 0.05°，Δ = 0° ± 0.2° |
| 穆勒矩阵 | 数秒内完成 16 元素全穆勒矩阵测量 |
| 软件 | DeltaPsi2（常规预设 + 高级建模） |
| 外形尺寸 | 100 × 46 × 23 cm（宽×高×深） |
Smart SE 基于偏振光反射态变化反演薄膜特性，集成视觉系统实现微区对准，7 档自动微光斑可测小至数十微米的特征区域。灵活的样品台与测角仪设计支持离线与在线（工艺腔）配置，DeltaPsi2 平台兼顾常规配方分析与高级椭偏建模。
半导体与微电子：氧化层、光刻胶涂层厚度与折射率测量
光伏与显示：功能半导体薄膜、偏光片与功能性涂层光学常数表征
有机与表面处理：聚合物薄膜、表面改性层分析
科研与教学：常规薄膜体系快速表征与批量检测
需要样品测试或量测方案咨询？在线提交需求，或拨打 400-186-8882（上海 021-58381720），优尼康科技提供本地化技术支持与免费测样。
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