KLA iMicro 是一款高性能台式纳米压痕仪，由优尼康科技代理供应。仪器采用 InForce 1000 电磁驱动器，最大载荷 1N、位移分辨率 0.004nm、最大压入深度 80μm、时间常数 20μs。可表征从超软凝胶到硬质陶瓷的全部材料类型，支持 CSM 连续刚度测量、NanoBlitz 3D/4D 力学图谱与 300°C 高温测试，符合 ISO 14577 标准。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 作动器 | InForce 1000 电磁驱动器 |
| 最大载荷 | 1N |
| 位移分辨率 | 0.004nm |
| 最大压入深度 | 80μm |
| 时间常数 | 20μs |
| 数据采集速率 | 最高 100kHz |
| XY 样品台 | 100mm×100mm |
| Z 轴行程 | 25mm |
| 符合标准 | ISO 14577 |
| 软件 | InView |
iMicro 基于纳米压痕法，金刚石压头以恒定或递增载荷压入材料表面，实时记录载荷-位移曲线，反演硬度和弹性模量。CSM 连续刚度测量在压入过程中实时获取硬度和模量随深度变化，符合 ISO 14577 标准，适合薄膜与涂层的工艺控制。
半导体：低 k 介质、金属互连层力学性能表征
硬质涂层：TiN/DLC 涂层硬度与结合力测试
聚合物：储存模量、损耗模量与 tan delta 测试
产线质控：硬度/模量快速测量
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