KLA iNano 是一款高精度台式纳米压痕仪，由优尼康科技代理供应。仪器采用 InForce 50 电磁驱动器，最大载荷 50mN、载荷分辨率 3nN、位移精度 0.02nm、行程 50μm、时间常数 20μs。从超软材料到硬质材料全覆盖，支持 NanoBlitz 3D/4D、CSM、AccuFilm 薄膜方法与划痕/磨损测试，符合 ISO 14577 标准。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 作动器 | InForce 50 电磁驱动器 |
| 最大载荷 | 50mN |
| 载荷分辨率 | 3nN |
| 位移精度 | 0.02nm |
| 位移行程 | 50μm |
| 时间常数 | 20μs |
| 数据采集速率 | 最高 100kHz |
| XY 样品台 | 100mm×100mm |
| 符合标准 | ISO 14577 |
| 软件 | InView |
iNano 基于纳米压痕法，金刚石压头以微小载荷压入材料表面，实时记录载荷-位移曲线，反演硬度和弹性模量。3nN 载荷分辨率与 0.02nm 位移精度适合超薄膜与软材料，AccuFilm 方法修正基底效应，CSM 连续刚度测量获取粘弹性参数。
超薄膜：<100nm 薄膜力学性能测量
半导体：低 k 介质、钝化层力学表征
聚合物与软材料：模量与 tan delta 测试
硬质涂层：纳米硬度与结合力测试
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