J.A. Woollam RC2 是一款双旋转补偿器型光谱椭偏仪，由优尼康科技代理供应。仪器在样品前后各配置一个补偿器并使其同步旋转，通过多组调制状态获取完整 4×4 穆勒矩阵的全部 16 个元素，其中包含退偏振信息，因此可用于各向异性、退偏振、手性等复杂样品与纳米结构的表征。光谱覆盖 193-2500nm（视配置），单次同步采集 1000 个以上波长点，全光谱测量约三分之一秒。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 仪器类型 | 双旋转补偿器光谱椭偏仪 |
| 穆勒矩阵 | 完整采集 4×4 共 16 个元素 |
| 光谱范围 | 193-2500 nm（视配置） |
| 同步波长点数 | 1000 个以上（各配置 790-1075 个） |
| 数据采集速率 | 全光谱约 1/3 秒 |
| 入射角 | 固定 65°；水平自动变角 45°-90°；垂直自动变角 20°-90° |
| 测量类型 | SE、g-SE（2×2 琼斯矩阵）、MM-SE、退偏振、强度 |
| 数据质量 | 空气直射穆勒矩阵对角元素 1 ± 0.002，非对角元素 0 ± 0.002 |
| 薄氧化膜厚度重复性 | 优于 0.005 nm |
| 聚焦光斑 | 可小至 25 × 60 μm |
| Mapping | 可配自动 300 × 300 mm XY 台 |
| 软件 | CompleteEASE 建模分析平台 |
椭偏测量的基本原理是偏振光经样品反射或透射后偏振态发生改变，通过解析出射光偏振状态反演膜层参数。基础椭偏只能得到 Psi 与 Delta 两个参数，对复杂样品的描述能力有限。RC2 的双旋转补偿器结构可获得完整穆勒矩阵，配合 CompleteEASE 的多层膜、各向异性、渐变折射率与有效介质近似模型完成拟合。
各向异性材料：单轴与双轴材料的各向异性轴方向与双折射解析
液晶器件：液晶盒指向矢取向与相位延迟的定量分析
低禁带半导体：InGaAs、InSb、HgCdTe 等材料的带隙与组分分析
纳米结构与超材料：纳米光栅、超表面、光子晶体的光学响应表征
原位工艺监控：安装于工艺腔室，对薄膜生长过程做实时反馈
需要样品测试或量测方案咨询？在线提交需求，或拨打 400-186-8882（上海 021-58381720），优尼康科技提供本地化技术支持与免费测样。
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