J.A. Woollam theta-SE 是一款内置晶圆 Mapping 测量台的台式光谱椭偏仪，由优尼康科技代理供应。仪器采用双旋转光学设计，光谱范围 400-1000nm，同步采集 190 个波长点，单次采集可快至 0.3 秒。内置 300mm 测量台配合快速相机对准与统一测量处方，可一键完成整片晶圆的膜厚与折射率分布测量，并自动生成报告，适合来料检验、工艺均匀性评价与量产抽检场景。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 仪器类型 | 双旋转台式光谱椭偏仪 |
| 光谱范围 | 400-1000 nm |
| 同步波长点数 | 190 |
| 数据采集时间 | 可快至 0.3 秒；典型 1-2 秒 |
| 入射角 | 65° 固定角 |
| 标称光斑尺寸 | 250 × 600 μm（在样品上） |
| 可测晶圆直径 | 300 mm |
| 探测与对准 | CCD 探测；快速相机对准（机器视觉与图像识别） |
| 测量数据类型 | SE，以及 g-SE、MM-SE |
| 软件 | CompleteEASE（含表面均匀性测量、扫描图形编辑与报告生成） |
theta-SE 基于双旋转椭偏设计，通过旋转元件调制偏振光并解析反射光偏振态变化，反演膜层厚度与光学常数。测量处方统一描述数据采集、测量位置与数据分析，配合 CompleteEASE 的表面均匀性测量功能，可在晶圆上按指定图形逐点采集并输出全片分布结果。
来料与出厂检验：氧化硅、氮化硅等介质薄膜的整片厚度确认
工艺均匀性评价：涂布与沉积工艺后的膜厚与折射率分布验收
设备维护确认：设备保养或换件后的工艺状态复核
量产批次抽检：光刻胶、碳膜与硬掩模材料的批次一致性检查
边缘区域评价：包含靠近晶圆边缘区域的膜层分布测量
需要样品测试或量测方案咨询？在线提交需求，或拨打 400-186-8882（上海 021-58381720），优尼康科技提供本地化技术支持与免费测样。
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