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- / KLA Profilm3D 光学轮廓仪使用说明书
本使用说明书为 KLA Profilm3D 光学轮廓仪的软件操作指南（©2021 KLA），介绍 Profilm3D 三维光学形貌测量的完整流程：软件界面（Live 窗口、图像窗口）、X-Y 载物台设置、单位与帮助/诊断功能，以及平均、最大、最小、范围等形貌参数分析，用于表面粗糙度、台阶高度与 3D 形貌表征。
欢迎与安全警告
软件概述：Live 窗口与图像窗口操作
X-Y 载物台设置与定位
单位设置、帮助与诊断功能
形貌参数分析：平均 / 最大 / 最小 / 范围
表面形貌测量操作员
研发与工艺工程师
设备维护与校准人员
需要样品测试或量测方案咨询？在线提交需求，或拨打 400-186-8882（上海 021-58381720），优尼康科技提供本地化技术支持与免费测样。
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