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- / Nanosurf AFSEM 真空环境用原子力显微镜 产品手册
Nanosurf AFSEM 是由 GETec 与 Nanosurf 联合开发的真空环境用原子力显微镜，由优尼康科技代理供应。它可直接安装于扫描电子显微镜（SEM）或双束系统（SEM/FIB）的腔室内，在同一位置实现 AFM 与 SEM 的相关性分析，既能获得高分辨成像，也能构造真实的三维表面形貌并测量高度、距离与材料属性。系统采用自感应探针技术，电子柱与样品之间仅需 4.5 mm 空间，兼容大多数电镜且不影响 SEM 正常操作。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| XY 扫描范围 | 90 µm × 90 µm |
| Z 向扫描范围 | 10 µm |
| 垂直方向噪音基底 | < 30 pm RMS |
| 探针技术 | 自感应探针（self-sensing） |
| 电子柱与样品间距 | 仅需 4.5 mm |
| 粗定位样品台 | 三轴 8 mm × 12 mm × 24 mm |
| 安装方式 | 腔室门直接安装，四螺丝快装，拆装约 5 分钟 |
| 测量模式 | 静态力 / 动态力 / 相位 / 导电 AFM（C-AFM）/ 力谱 / 力调制 |
| 可联用技术 | FIB、EDX、纳米压痕台、张力牵拉台等 |
| 产地 | 瑞士 |
AFSEM 将原子力显微镜集成进 SEM 腔体，在 SEM 大范围视场内精确定位悬臂探针，再用自感应探针完成接触、轻敲、相位等多种模式的扫描，输出三维形貌与力学信息。三轴粗定位台负责把探针移入或移出 SEM 视场，垂直方向与样品同步移动以避免撞针。配套控制软件支持智能测量、系统操作与数据分析，兼顾效率与易用性。
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