《ONTO Celero-PL 产品手册》系统介绍该化合物半导体缺陷检测系统的测量原理、核心技术参数、软件操作与典型应用案例，是 SiC/GaN 材料质量管控的参考文档。设备基于激光相位检测与成像，配备光致发光（PL）、偏振、斜面、明场、暗场 5 个检测通道，可检测表面与亚表面晶体缺陷（层错、基面位错、微管等），采用不旋转边缘接触设计降低脆性衬底损伤风险。
测量原理与技术架构（激光相位检测与 5 通道成像）
关键性能参数与量程说明（SiC/GaN 兼容、PL 通道、晶圆厚度范围）
软件功能与操作流程
典型化合物半导体应用案例
研发与工艺工程师：SiC/GaN 外延良率研究
质检与良率工程师：衬底/外延层缺陷管控
采购与设备管理人员：配置比对
本手册对应机型：ONTO Celero-PL（SiC / GaN 化合物半导体缺陷检测）。同系列其他机型可按应用方向对照选型：
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