《ONTO PrimaScan 产品手册》系统介绍该晶圆缺陷与污染检测系统的测量原理、核心技术参数、软件操作与典型应用案例，是选型评估与日常操作的参考文档。设备采用激光散射与成像方案，配备偏振、斜面、明场、暗场 4 大检测通道，兼容 100–300 mm 晶圆，可检测纳米级颗粒、划痕、凹坑、污染、应力与边缘崩边等缺陷，适用于无图形晶圆与均质膜层的全表面缺陷检测。
测量原理与技术架构（激光散射与多通道成像）
关键性能参数与量程说明（颗粒/污染灵敏度、晶圆兼容范围）
软件功能与操作流程
典型行业应用案例
研发与工艺工程师：选型评估、方法开发
质检与良率工程师：来料/制程检测
采购与设备管理人员：配置比对
本手册对应机型：ONTO PrimaScan（量产晶圆缺陷与污染检测）。同系列其他机型可按应用方向对照选型：
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