ONTO PrimaScan P 玻璃面板缺陷检测系统 产品手册

简要说明 :
ONTO PrimaScan P 玻璃面板缺陷检测系统手册,面向 AICS/FOPLP 先进封装,多通道成像 + 动态翘曲补偿,适配高形变面板。
文件版本 :
V1.0.1
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资料简介

《ONTO PrimaScan P 产品手册》系统介绍该玻璃面板缺陷检测系统的测量原理、核心技术参数、软件操作与典型应用案例,是先进封装面板质量管控的参考文档。设备采用多通道激光扫描成像技术,面向 AICS 与 FOPLP 入厂玻璃面板,搭载表面翘曲与弯曲动态补偿功能,适配高形变面板,可稳定检出纳米级颗粒、划痕、崩边、裂纹与膜层应力等缺陷。

本手册涵盖

  • 测量原理与技术架构(多通道激光扫描成像)

  • 关键性能参数与量程说明(面板尺寸兼容、颗粒灵敏度、动态补偿)

  • 软件功能与操作流程

  • 典型先进封装面板应用案例

适用对象

  • 研发与工艺工程师:面板衬底工艺开发

  • 质检与良率工程师:玻璃面板入厂/制程检测

  • 采购与设备管理人员:配置比对

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本手册对应机型:ONTO PrimaScan P(玻璃面板 / 先进封装缺陷检测)。同系列其他机型可按应用方向对照选型:

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