《ONTO PrimaScan R&D 产品手册》系统介绍该独立式手动上料研发机型的测量原理、核心技术参数、软件操作与典型应用案例，是研发实验室与来料质量控制的参考文档。相较量产机型，R&D 版本具备更小光斑尺寸与更高像素分辨率，可精准探测表面颗粒、划痕、凹坑、污染、薄膜或晶圆应力、空洞与内含物及边缘崩边裂纹，面向不透明、透明与半透明基材。
测量原理与技术架构（高分辨率多通道成像）
关键性能参数与量程说明（更小光斑、更高像素分辨率）
软件功能与操作流程
典型研发与来料质检应用案例
研发与工艺工程师：早期工艺异常研究、方法开发
质检与良率工程师：来料/小批量质量控制
高校与科研院所：研发验证台位
本手册对应机型：ONTO PrimaScan R&D（独立式手动上料研发型）。同系列其他机型可按应用方向对照选型：
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