- 返回 |
- 网站首页
- / 下载中心
- / 产品手册
- / 表面形貌与粗糙度测量
- / KLA P-170 全自动探针式表面轮廓仪 产品手册
KLA P-170 是一款盒对盒（cassette-to-cassette）全自动探针式台阶仪，由优尼康科技代理供应。仪器融合 P-17 测量性能与经生产验证的机械臂，垂直分辨率 0.01Å，台阶高度范围纳米级至 1000μm，测量长度 200mm 免拼接。支持 75–200mm 不透明/透明晶圆自动加载，真空卡盘固定，SECS/GEM 协议对接产线。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 台阶高度范围 | 纳米级~1000μm |
| 垂直分辨率 | 0.01Å |
| 台阶重复性 | 4Å 或 0.1% |
| 恒力控制 | 0.03–50mg |
| 测量长度 | 200mm（免拼接） |
| 扫描速度 | 2μm/s–25mm/s |
| 水平分辨率 | X 0.025μm / Y 0.5μm |
| 垂直线性度 | ±0.5%（>2000Å）；10Å（≤2000Å） |
| 自动加载 | 75–200mm 晶圆 |
| 探针 | 金刚石探针，40nm–50μm |
| 通信协议 | SECS/GEM |
P-170 基于探针接触式测量，机械臂自动取放晶圆，真空卡盘固定样品，金刚石探针沿表面扫描测量台阶高度。盒对盒自动化实现无人值守批量测量，Apex 数据分析软件支持步高、粗糙度、直方图步高与 CMP 分析等扩展算法。
半导体晶圆厂：产线台阶高度全自动测量
CMP 工艺：去除量均匀性分析
光刻胶：显影台阶与刻蚀深度批量检测
MEMS：微结构台阶高度产线监控
需要样品测试或量测方案咨询？在线提交需求，或拨打 400-186-8882（上海 021-58381720），优尼康科技提供本地化技术支持与免费测样。
优尼康公众号
售后服务支持
