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- / KLA P-17 探针式台阶仪 产品手册
KLA P-17 是第八代台式探针式台阶仪，由优尼康科技代理供应。仪器采用 UltraLite LVDC 电容传感器，台阶高度测量范围纳米级至 1000μm，恒力控制 0.03–50mg，扫描范围可达 200mm 无需图像拼接。支持 2D/3D 形貌、粗糙度、波纹度、翘曲度、曲率半径与薄膜应力测量，图形识别与特征检测实现全自动测量。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 台阶高度范围 | 纳米级~1000μm |
| 传感器 | UltraLite LVDC 电容传感器 |
| 恒力控制 | 0.03–50mg |
| 扫描范围 | 200mm（无需拼接） |
| 相机 | 500 万像素，光学变焦 |
| 测量模式 | 2D 与 3D |
| 测量功能 | 台阶、粗糙度、波纹度、翘曲度、曲率半径、薄膜应力 |
| 自动化 | 图形识别、排序、特征检测、自动配方 |
| 通信协议 | SECS/GEM |
P-17 基于探针接触式测量，UltraLite LVDC 电容传感器将探针位移转换为高精度高度信号。顶视与侧视光学系统实现探针可视化定位，图形识别与特征检测支持全自动测量，软件按 Stoney 方程计算薄膜应力。
半导体：光刻胶台阶、刻蚀深度测量
薄膜：应力、粗糙度与波纹度表征
材料研发：涂层厚度与表面形貌
失效分析：表面缺陷与划痕检测
需要样品测试或量测方案咨询？在线提交需求，或拨打 400-186-8882（上海 021-58381720），优尼康科技提供本地化技术支持与免费测样。
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