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- / KLA P-7 探针式台阶仪 产品手册
KLA P-7 是一款高精度探针式台阶仪，由优尼康科技代理供应。仪器采用金刚石探针接触式测量，垂直分辨率达 0.01Å（亚埃级），台阶高度测量范围几纳米至 1000μm，1μm 标准台阶重复性 4Å（0.10%）。500 万像素彩色相机支持图案识别，X 轴扫描 150mm 无需拼接，软件支持台阶高度、粗糙度、应力分析（2D/3D）与 3D 成像。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 台阶高度范围 | 几纳米~1000μm |
| 垂直分辨率 | 0.01Å（亚埃级） |
| 重复性（1μm 标准台阶） | 4Å（0.10%） |
| 恒定针压力 | 0.03~50mg |
| 扫描长度（X 轴） | 150mm（无拼接） |
| 水平分辨率（X） | 0.025μm/数据点 |
| 摄像机 | 500 万像素彩色，图案识别 |
| 软件 | 台阶高度、粗糙度、应力分析、3D 成像、SECS/GEM |
P-7 基于探针接触式测量，金刚石探针沿样品表面扫描，将探针的垂直位移转换为台阶高度信号。恒定针压力控制保护样品，亚埃级垂直分辨率可精确测量超浅台阶，软件支持台阶高度、粗糙度、翘曲度与薄膜应力（Stoney 方程）分析。
半导体：光刻胶显影台阶、刻蚀深度测量
微纳加工：纳米压印台阶与残胶量测
薄膜：应力、粗糙度与翘曲度表征
材料研发：涂层厚度与表面形貌
需要样品测试或量测方案咨询？在线提交需求，或拨打 400-186-8882（上海 021-58381720），优尼康科技提供本地化技术支持与免费测样。
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