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KLA Profilm3D 是一款白光干涉 3D 光学轮廓仪，由优尼康科技代理供应。仪器采用白光干涉(WLI)与相移干涉(PSI)双测量模式，非接触测量样品 3D 表面形貌、台阶高度与粗糙度，垂直分辨率优于 0.1nm，样品反射率适用范围 0.05%–100%。10× 物镜单次视场达 2mm，支持标准实验室与大尺寸样品两种型号。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 测量技术 | 白光干涉(WLI) + 相移干涉(PSI) |
| 光源 | 白光 LED |
| 台阶高度范围(WLI) | 50nm–10mm |
| 台阶高度范围(PSI) | 0–3μm |
| 垂直分辨率 | <0.1nm（PSI） |
| RMS 重复性 | 1.0nm（WLI）/ 0.1nm（PSI） |
| 台阶高度准确度 | 0.7% |
| 样品反射率范围 | 0.05%–100% |
| XY 样品台 | 100mm×100mm（-200 型 200mm×200mm） |
| 测量方式 | 非接触、无损 |
Profilm3D 基于白光干涉与相移干涉，宽谱光照射样品表面，利用参考光与样品反射光的干涉条纹反演三维形貌。白光干涉适合大台阶高度测量，相移干涉适合亚纳米级超光滑表面。软件支持粗糙度分析（符合 ISO 25178）、台阶高度、曲率与 3D 成像。
半导体：晶圆表面形貌、光刻胶台阶、CMP 后粗糙度
光学元件：微透镜、镜片面型与粗糙度
MEMS：微结构台阶高度与三维形貌
材料研发：薄膜应力、翘曲度与表面缺陷分析
需要样品测试或量测方案咨询？在线提交需求，或拨打 400-186-8882（上海 021-58381720），优尼康科技提供本地化技术支持与免费测样。
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