KLA R50 是一款四探针薄膜方阻测试仪，由优尼康科技代理供应。仪器采用四点探针(4PP)与电涡流(EC)双配置，测量范围跨越 10 个数量级，4PP 精度 ±0.2%、EC 精度 ±1%。200mm×200mm 电动平台支持矩形、线性、极坐标与自定义点阵测绘，RSMapper 软件完成数据采集、分析与 2D-3D 可视化。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 产品型号 | R50（4PP/EC 双配置） |
| 测量技术 | 四点探针(4PP) / 电涡流(EC) |
| 测量范围 | 跨越 10 个数量级 |
| 4PP 精度 | ±0.2% |
| EC 精度 | ±1% |
| 4PP 重复性 | <0.02% |
| EC 重复性 | <0.2% |
| XY 电动平台 | 200mm×200mm |
| Z 轴行程 | 60mm（自动） |
| 样品台承重 | 2.5kg |
| 软件 | RSMapper |
R50 基于四点探针法与电涡流法：4PP 探针以恒定电流注入样品、测量探针间电压差计算薄膜方阻；EC 模式利用高频磁场在导电薄膜中感应涡流实现非接触测量。RSMapper 软件支持多种测绘模式与 2D-3D 方阻分布图。
半导体：晶圆薄膜方阻与掺杂均匀性分析
化合物半导体：外延层电阻率表征
光伏：透明导电膜（TCO）方阻检测
材料研发：金属薄膜、石墨烯方阻测量
需要样品测试或量测方案咨询？在线提交需求，或拨打 400-186-8882（上海 021-58381720），优尼康科技提供本地化技术支持与免费测样。
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