KLA R54 是一款四探针薄膜方阻测试仪，由优尼康科技代理供应。仪器采用四点探针(4PP)与电涡流(EC)双配置，测量范围跨越 10 个数量级（低至 1mΩ/sq），4PP 精度 ±0.1%、测量点重复性优于 0.01%。封闭式外壳提供光敏保护，自动 EC 探针高度误差校正，支持 200mm/300mm 晶圆或 A4 方形样品。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 产品型号 | R54（4PP/EC 双配置） |
| 测量技术 | 四点探针(4PP) / 电涡流(EC) |
| 测量范围 | 跨越 10 个数量级（低至 1mΩ/sq） |
| 4PP 精度 | ±0.1% |
| EC 精度 | ±1% |
| 4PP 重复性 | <0.01% |
| EC 重复性 | <0.2% |
| XY 平台 | 200mm/300mm 晶圆 或 A4 方形 |
| Z 轴行程 | 15mm（自动） |
| 特殊功能 | 封闭式外壳（光敏保护）、自动 EC 探针高度误差校正 |
| 软件 | RSMapper |
R54 基于四点探针法与电涡流法：4PP 探针以恒定电流注入样品、测量电压差计算薄膜方阻；EC 模式利用高频磁场感应涡流非接触测量。封闭式外壳屏蔽环境光，自动 EC 探针高度误差校正提升重复性，RSMapper 软件完成数据采集、分析与 2D-3D 可视化。
半导体：晶圆薄膜方阻与掺杂均匀性分析
化合物半导体：外延层电阻率表征
光伏：透明导电膜（TCO）方阻检测
材料研发：金属薄膜、石墨烯方阻测量
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