UNICORN LS-1200 主动式防震台 产品手册

简要说明 :
UNICORN LS-1200 主动式防震台手册,高承重,防震范围 1–200Hz,可搭配 LFS 低频传感器从 0.5Hz 起隔振。
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V1.0.1
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产品简介

UNICORN LS-1200 主动式防震台为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供主动隔振性能。LS-1200 在 LS-800 的基础上通过增加隔振模块的数量加大系统的承重,广泛用于蔡司、莱卡、日立、日本电子等品牌的大型电子显微镜隔振,以及半导体设备、大型干涉仪、电子天平等精密设备隔振。它采用超薄型和模块化设计,简化了安装过程,为大多数仪器安装时不需要专用的起重设备。

核心参数

参数规格
防震范围1–200 Hz(搭配 LFS 系统由 0.5 Hz 开始)
被动防震模式≥200 Hz
隔离起点1 Hz
隔震率(2.5 Hz)90%
隔震率(5 Hz)97%
隔震率(10 Hz)99%
最大隔震率99.8%(70 Hz)
谐震频率无(无低频共振)
承重在 LS-800 基础上增加隔振模块数量提升承重

LFS 低频传感器升级(可选)

LS-1200 系列与 LFS 系统(低频传感器)配套使用,可提高其低频隔振性能,使平台能够隔离 0.5Hz 开始的振动,并且可以很容易地为现场现有系统进行改造。

LFS 升级参数规格
隔离起点0.5 Hz
隔震率(2.5 Hz)95%
隔震率(5 Hz)99%
隔震率(10 Hz)99.5%
最大隔震率99.8%(20 Hz)

测量原理与特点

LS-1200 通过传感器实时监测外部振动信号并传输至控制器,控制器根据振动波形生成反向作用力,由执行器施加与振动相位相反的力,实现动态抵消。系统结合被动隔振与主动控制技术,被动系统吸收高频振动能量,主动系统针对低频振动精准补偿,采用六自由度控制自适应调节地基振动前馈,抵消多方向振动传递。

典型应用

  • 大型电子显微镜(SEM / TEM)

  • 光刻设备与半导体设备

  • 光谱测量设备与高精度计量设备

  • 超高真空扫描探针显微镜、电子束光刻(EBL)、扫描隧道显微镜(STM)

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