UNICORN LS-400 主动式防震台为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供主动隔振性能，从 0.5Hz 起有效。它广泛用于蔡司、莱卡、日立、日本电子等品牌的大型电子显微镜隔振，以及半导体设备、大型干涉仪、电子天平等精密设备的隔振。LS-400 通过抵消干扰测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从仪器中获得更多信息。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 防震范围 | 1–200 Hz |
| 被动防震模式 | ≥200 Hz |
| 隔离起点 | 1 Hz |
| 隔震率（2.0 Hz） | 90% |
| 隔震率（5 Hz） | 97% |
| 隔震率（10 Hz） | 99% |
| 最大隔震率 | 99.8%（70 Hz） |
| 谐震频率 | 无（无低频共振） |
| 隔离自由度 | 六自由度 |
| 传感器与执行器 | 压电传感器和驱动器 |
| 阻尼 | 内部反馈回路阻尼谐振 |
LS-400 通过传感器实时监测外部振动信号并传输至控制器，控制器根据振动波形生成反向作用力，由执行器施加与振动相位相反的力，实现动态抵消，大幅抑制低频振动及复杂环境干扰。系统结合被动隔振与主动控制技术，被动系统吸收高频振动能量，主动系统针对低频振动准确补偿，实现全频段隔振，并采用六自由度控制自适应调节地基振动前馈，抵消多方向振动传递。
系统具备紧凑模块化设计，安装方便、无需长期维护，安装后基本不改变显微镜整体轮廓，可为每台电镜做单一定制。
电子显微镜：扫描电子显微镜（SEM）与透射电子显微镜（TEM）
光刻设备与半导体设备
光谱测量设备与高精度计量设备
超高真空扫描探针显微镜、电子束光刻（EBL）、扫描隧道显微镜（STM）
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