UNICORN LS-800 主动式防震台为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供主动隔振性能,从 0.5Hz 起有效。LS-800 通过抵消干扰测量的破坏性低频振动噪声,帮助用户从显微镜中获得更多信息。它采用超薄型和模块化设计,简化了安装过程,安装时不需要专用的起重设备,这个方案适合绝大多数 SEM。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 防震范围 | 0.5–200 Hz |
| 被动防震模式 | ≥200 Hz |
| 隔离起点 | 0.5 Hz |
| 隔震率(2.5 Hz) | 90% |
| 隔震率(5 Hz) | 97% |
| 隔震率(10 Hz) | 99% |
| 最大隔震率 | 99.8%(70 Hz) |
| 谐震频率 | 无(无低频共振) |
| 设计 | 超薄型模块化,安装不需专用起重设备 |
LS-800 通过传感器实时监测外部振动信号并传输至控制器,控制器根据振动波形生成反向作用力,由执行器施加与振动相位相反的力,实现动态抵消。系统结合被动隔振与主动控制技术,被动系统吸收高频振动能量,主动系统针对低频振动准确补偿,采用六自由度控制自适应调节地基振动前馈,抵消多方向振动传递。
LS-800 的扁平化模块设计简化了安装过程、减少了持续维护的必要,安装后基本不改变显微镜整体轮廓。
扫描电子显微镜(SEM)与透射电子显微镜(TEM)
光刻设备与半导体设备
光谱测量设备与高精度计量设备
超高真空扫描探针显微镜、电子束光刻(EBL)、扫描隧道显微镜(STM)
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