HORIBA UVISEL Plus 是一款相位调制型光谱椭偏仪，由优尼康科技代理供应。仪器采用 50kHz PEM 相位调制，光路无机械转动部件，重复性与信噪比高，光谱范围 190-2100nm，膜厚测量范围 1Å-50μm，Ψ/Δ 准确度 ±0.01°，适合超薄膜到厚膜的光学常数（n、k）精确表征。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 仪器类型 | 相位调制型椭圆偏振光谱仪（PEM） |
| PEM 调制频率 | 50kHz |
| 光谱范围 | 190-885nm（NIR 版至 2100nm） |
| 膜厚测量范围 | 1Å-50μm |
| 准确度 | Ψ/Δ ±0.01° |
| 重复性 | 厚度约 ±0.1%，折射率约 ±0.0001 |
| 变角范围 | 40°-90°（步进 0.01°） |
| 微光斑 | 50μm / 100μm / 1mm（可选） |
| 光源 | 75W 氙灯 |
UVISEL Plus 基于相位调制椭偏法，利用 50kHz PEM 调制偏振光，测量薄膜反射后偏振态（Ψ、Δ）的变化，经模型拟合反演膜厚与光学常数（n、k）。相位调制无机械转动部件，重复性高，FastAcq 双调制采集全谱最快 3 分钟。
半导体：栅介质、高k/低k介质超薄膜厚度与光学常数表征
化合物半导体：III-V 族异质结厚度与组分标定
光伏：减反射膜、钙钛矿层厚度与光学常数
光学镀膜：增透膜、高反膜、滤光片 n、k 测定
科研：沉积、固化等动态过程实时追踪
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