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KLA Zeta-20 是一款多模式白光共聚焦显微镜，由优尼康科技代理供应。仪器集成 ZDot、ZI、ZIC、ZSI、ZFT、AOI 六种光学测量模式，一台设备即可完成台阶高度、粗糙度、薄膜厚度、应力与缺陷检测，台阶高度范围 15nm~25mm，薄膜厚度 30nm~15μm，并支持真彩色成像。非接触测量，适用于各类透明与不透明样品。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 测量技术 | 白光共聚焦 + ZDot 技术 |
| 光学模式 | 6种（ZDot/ZI/ZIC/ZSI/ZFT/AOI） |
| 台阶高度范围 | 15nm~25mm |
| 薄膜厚度范围 | 30nm~15μm（ZFT） |
| 粗糙度测量 | <40nm（ZIC 模式） |
| 缺陷检测 | 尺寸<1μm、高度<75nm |
| 成像 | 真彩色成像 |
| 测量方式 | 非接触、无损 |
Zeta-20 基于白光共聚焦与 ZDot 技术，六种光学模式按测量对象自动切换：ZDot 适合大台阶高度，ZIC 适合亚 40nm 粗糙度，ZFT 适合透明膜厚，ZSI 适合超浅台阶，AOI 用于大视场快速检测。软件支持 3D 形貌重建、粗糙度分析与缺陷统计。
半导体：晶圆台阶、粗糙度、应力与缺陷检测
LED/光电：透明薄膜厚度、表面缺陷检测
MEMS 与微纳加工：微结构三维形貌与台阶测量
材料研发：涂层厚度、表面质量与缺陷分析
需要样品测试或量测方案咨询？在线提交需求，或拨打 400-186-8882（上海 021-58381720），优尼康科技提供本地化技术支持与免费测样。
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