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- / KLA Zeta-20CM 磁盘边缘三维轮廓仪 产品手册
KLA Zeta-20CM 是一款面向磁盘边缘的三维光学轮廓仪，由优尼康科技供应。系统沿用 Zeta Instruments 光学轮廓仪系列的成熟技术，采用四轴电动载物台（X-Y-Roll-Theta）为每次测量定位磁盘，配合自动化测量配方与流程，可在一次测量中完成倒边轮廓、倒边粗糙度、侧壁缺陷与内外径尺寸的采集，覆盖从顶面到侧壁的全部区域。
三维采集基于 ZDot 点阵成像技术，以明暗场照明方案结合不同物镜处理困难表面；选配 ZSi 白光差分干涉后，Z 轴分辨率可达 1 Å。系统标配 ID 夹具，适配外径 65 mm 至 95 mm、内径 20 mm 或 25 mm 的磁盘，玻璃盘与金属盘均适用；选配 OD 夹具可检测内径倒边，选配拼接功能可生成侧壁与倒边区域的完整三维视图。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 仪器类型 | 磁盘边缘三维光学轮廓仪 |
| 三维采集 | 约 40 秒 / 帧 |
| 像素分辨率 | 0.09 µm（配 0.5× 耦合器与 100× 物镜） |
| Z 步进下限 | 13 nm（采用标准 Z 轴驱动） |
| Z 轴分辨率 | 13 nm（配备标准 ZDot）；1 Å（含 ZSi 选项） |
| 放大倍率 | 光学与数字合计 35,000× |
| 定位载物台 | 四轴电动（X-Y-Roll-Theta）；XY 行程 100 mm × 100 mm；Roll 0-90°、Theta 0-360° |
| 磁盘尺寸 | 外径 65 / 70 / 95 mm；内径 20 / 25 mm |
| Z 轴行程 | 40 mm |
| 相机选项 | 1024 × 768、1280 × 960 |
| 照明 | 双超亮白光 LED；外部环形灯（可选） |
| 测量参数 | 完整倒边轮廓、倒边粗糙度、倒边与侧壁缺陷检测、内径与外径尺寸、同心度 |
Zeta-20CM 采用四轴电动载物台为每次测量定位磁盘，将倒边区域送至测量光路。三维采集以 ZDot 点阵成像为基础，通过明暗场照明与不同物镜组合处理各类表面；选配 ZSi 白光差分干涉后 Z 轴分辨率可达 1 Å。自动化测量配方采集数据并输出各测量项的统计结果，测量流程可将多个配方串联为组合测量，用于提升过程控制的速度与重复性。侧壁检测由配备环形照明的物镜完成，可检出颗粒、划痕等缺陷并测量外径、内径与同心度；选配拼接功能后，多幅图像可合成为侧壁与倒边区域的完整三维视图。
磁盘倒边轮廓测量（从顶边到侧壁的完整形状与角度）
倒边粗糙度评价，用于抛光工艺参数调整
侧壁颗粒与划痕等缺陷检测
磁盘外径、内径尺寸与同心度测量
内径倒边检测（选配 OD 夹具）
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