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优尼康科技提供光刻胶全流程表征方案:膜厚仪(F20/F40/F50/F54)、椭偏仪(FS-8/Uvisel Plus)、光学轮廓仪(Profilm3D)、纳米压痕仪(G200X/imicro)、台阶仪、XRF、水滴角测量仪等。覆盖光刻胶膜厚测试、折射率n/k测量、台阶高度、粗糙度、力学性能与润湿性分析,适用于半导体光刻、MEMS、先进封装等领域。
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