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优尼康科技提供硅片制造全流程测量方案：电阻率仪R50/R54、膜厚仪F54-XY、光学轮廓仪Profilm3D、KLA台阶仪、XRF、水滴角、粒度仪。覆盖电阻率均匀性、TTV、弯曲度、表面粗糙度、金属污染、CMP浆料粒径、清洗效果检测。
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