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优尼康科技提供磷化铟InP全产业链测量方案:膜厚仪、椭偏仪、台阶仪、XRF分析仪、AFM、主动减震台。覆盖InP衬底减薄厚度均匀性、CMP表面粗糙度、AR/HR反射率、氧化硅/光刻胶膜厚、多层金属薄膜厚度、台阶高度、表面形貌等关键参数,助力光通信与AI算力光互连产业。
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