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优尼康科技提供MEMS全流程测量解决方案,包含光学轮廓仪Profilm3D、膜厚仪F20/F50、纳米压痕仪、XRF分析仪、台阶仪、电阻率仪。专业检测深硅刻蚀深度、侧壁角、薄膜厚度与应力、微悬臂梁形貌、压阻材料力学性能、金属层成分,助力MEMS器件研发与量产良率提升。
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