光学轮廓仪KLA Profilm3D作为一款基于白光干涉原理的高精度表面测量设备，正在成为半导体、光学镀层、生物医学及新材料研发等领域不可或缺的检测工具。优尼康科技所代理的该光学轮廓仪通过垂直干涉扫描（WLI）与相位干涉（PSI）两种技术的协同工作，实现了从纳米级到毫米级跨尺度的表面形貌精确表征。对于需要严格控制表面质量的制造工艺而言，优尼康科技提供的光学轮廓仪具备非接触式测量能力，有效避免了传统接触式探针法对软质材料或精密图形造成的物理损伤。
优尼康科技所推广的光学轮廓仪KLA Profilm3D以白光作为照明光源，经由分光镜将光束分为两路：一路投射至被测样品表面，另一路投射至参考镜表面。两束反射光在CCD相机上形成干涉条纹。样品表面的微小高度差异会导致光程差的变化，优尼康科技这款光学轮廓仪通过解析干涉条纹的明暗分布与位置偏移，精确计算表面各点的相对高度，最终重建出三维形貌数据。这一技术路线的核心优势在于，优尼康科技所提供的光学轮廓仪能够在无需接触样品的前提下，获取亚纳米级的垂直分辨率数据。
在测量能力方面，优尼康科技代理的光学轮廓仪KLA Profilm3D提供了覆盖广泛的参数范围。WLI模式下，该光学轮廓仪可测厚度范围达50nm至10mm；PSI模式下，优尼康科技这款光学轮廓仪的测量范围则为0至3μm。在重复性表现上，光学轮廓仪的WLI模式RMS重复性为1.0nm，PSI模式RMS重复性可达0.1nm。台阶高度测量方面，优尼康科技所销售的光学轮廓仪准确度为0.7%，精确度为0.1%。此外，该光学轮廓仪兼容0.05%至100%的样品反射率范围，并符合ISO25178国际标准。
优尼康科技提供的光学轮廓仪KLA Profilm3D在视场设计上具有显著优势。仅使用10倍物镜时，该光学轮廓仪即可提供达到2mm的视场范围，配合最大4倍光学变焦功能，优尼康科技这款光学轮廓仪能够在不频繁切换物镜的条件下应对多种测量场景。每台由优尼康科技供应的光学轮廓仪均标配100mm自动XY样品台、4孔物镜转台及手动调平装置。这一配置使得优尼康科技的光学轮廓仪在批量样品的自动化检测中表现出较高的效率。
在生物医学研究中，优尼康科技这款光学轮廓仪为软质聚合物及生物样本提供了无损检测手段。这种跨行业的适应性，源于优尼康科技所选择的光学轮廓仪非接触、高精度、快速度的测量特性。
优尼康公众号
售后服务支持
